「第20回マイクロマシン/MEMS展」レポート
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ガラスウェハー5枚を接合したサンプル。中央に、ウェハーの一部を切り取って断面が見えるように置いたサンプルがある
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http://robot.watch.impress.co.jp/cda/news/2008/08/01/1221.html