MEMSバイオセンサーの構造。大きさは30mm×25mm×6mm。シリコンウェハー3枚、ガラスウェハー2枚、PDMS、セラミックを積層した

MEMSバイオセンサーの構造。大きさは30mm×25mm×6mm。シリコンウェハー3枚、ガラスウェハー2枚、PDMS、セラミックを積層した