「第20回マイクロマシン/MEMS展」レポート
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横河電機の開発成果を説明したパネル
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【2008年8月1日】「第19回マイクロマシン/MEMS展」レポート
～携帯電話や医療などに向けた超小型デバイス
http://robot.watch.impress.co.jp/cda/news/2008/08/01/1221.html
