「第20回マイクロマシン/MEMS展」レポート
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MEMSライトバルブと高耐圧駆動LSIを集積したSoCの試作チップ
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【2008年8月1日】「第19回マイクロマシン/MEMS展」レポート
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http://robot.watch.impress.co.jp/cda/news/2008/08/01/1221.html
