さまざまな試作チップ(シリコンダイ)。右端が圧力センサーだけに機能を限定してシリコンのチップ(ダイ)寸法を極力小さくしたデバイス。チップ寸法は0.9mm×0.8mmしかない。左側から2つめが、圧力センサーと温度センサー、微小容量検出回路を集積した高感度タイプ。チップ寸法は1.9mm×1.7mm
