【写真30】ピーアンドシーのブースで展示されていたマイクロアクチュエータ。超音波モータによって微小駆動が可能。1μmから10μmレベルでの精密な位置決め作業が容易に行なえる

【写真30】ピーアンドシーのブースで展示されていたマイクロアクチュエータ。超音波モータによって微小駆動が可能。1μmから10μmレベルでの精密な位置決め作業が容易に行なえる