SOIウェハに不純物(リン)を塗布して、高熱を加えでピエゾ抵抗を形成する。これがひずみゲージの代わりとなる。その上に金とニッケルをスパッタで成膜する

Copyright (c) 2009 Impress Watch Corporation, an Impress Group company. All rights reserved.