【写真16】フォトリソグラフィ技術によるマイクロマシンの可動機構の製造プロセス。感光性樹脂に設計図を転写し、そのパターンを利用して微細な加工を行なう。可動部を支える犠牲層などをエッチングで除去して最終的に取り出す

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