【写真38】MEMSより小さなNEMS(Nano Electro Mechanical Systems)の時代を切り開くために、遠隔微細作業システムの精度を向上させる高精度センサの開発も行なっている。ピエゾ効果を利用した力センサで、pNレベルの力を検出できるという

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