「'09画像センシング展」レポート(16/53)

【写真8】こちらもリンクスのブース。高精度な欠陥検査を実現するHALCONのバリエーションモデル手法を紹介。ラインセンサーと高精密レンズを組み合わせ、分解能15μmの微細な欠陥でも高速検出できるという