【写真21】液晶・半導体搬送用などクリーンな環境で使用される真空ロボット用のベアリング(写真左)。アウトガスの放出量が従来の3分の1以下の抑えられ、焼付き寿命も8倍にのびた。また、固体潤滑剤を採用した真空ロボット用のアングギュラ型ベアリング(写真右)も発表。従来より5倍以上の耐久性を実現
